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自動直動ステージ 実測値データ
| 使用モーター | 一方向 位置決め精度 |
繰返し位置決め精度 | ロストモーション | ピッチング | ヨーイング | 最高速度 | 耐荷重 | 壁面垂直姿勢の場合 | |||||||
| CW | CENTER | CCW | CW | CENTER | CCW | 40×40 | 60×60 | 最高速度 | 耐荷重 | ||||||
| 5相 ステッピング モーター | 標準 オリエンタルモーター(株) C005C-90215P-1 □28 |
1.54μm | 0.04μm | 0.05μm | 0.04μm | 0.13μm | 0.12μm | 0.03μm | 9.00sec | 2.70sec | 20mm/sec | 6.0kgf 【58.8N】 |
7.5kgf 【73.5N】 |
20mm/sec | 3.0kgf 【29.4N】 |
| 高トルク オリエンタルモーター(株) PK525HPB-C1 □28 |
1.44μm | 0.04μm | 0.02μm | 0.04μm | 0.08μm | 0.07μm | 0.06μm | 8.30sec | 3.10sec | 30mm/sec | 6.0kgf 【58.8N】 |
7.5kgf 【73.5N】 |
30mm/sec | 3.0kgf 【29.4N】 |
|
| 高分解能 オリエンタルモーター(株) PK523HPMB-C1 □28 |
1.61μm | 0.03μm | 0.06μm | 0.03μm | 0.03μm | 0.03μm | 0.03μm | 6.60sec | 3.80sec | 20mm/sec | 6.0kgf 【58.8N】 |
7.5kgf 【73.5N】 |
10mm/sec | 3.0kgf 【29.4N】 |
|
| 電磁ブレーキ付 オリエンタルモーター(株) PKE545MC-A1 □42 |
1.17μm | 0.03μm | 0.04μm | 0.05μm | 0.08μm | 0.08μm | 0.05μm | 8.60sec | 4.50sec | 40mm/sec | 6.0kgf 【58.8N】 |
7.5kgf 【73.5N】 |
40mm/sec | 3.0kgf 【29.4N】 |
|
| αステップモーター オリエンタルモーター(株) ARM24SAK □28/AZM24AK □28 |
2.40μm | 0.04μm | 0.03μm | 0.05μm | 0.61μm | 0.60μm | 0.63μm | 9.00sec | 4.50sec | 40mm/sec | 6.0kgf 【58.8N】 |
7.5kgf 【73.5N】 |
40mm/sec | 3.0kgf 【29.4N】 |
|
| ACサーボモーター三菱電機(株) HG-KR053 □40 |
1.68μm | 0.04μm | 0.02μm | 0.05μm | 0.03μm | 0.07μm | 0.09μm | 11.40sec | 2.70sec | 50mm/sec | 6.0kgf 【58.8N】 |
7.5kgf 【73.5N】 |
50mm/sec | 3.0kgf 【29.4N】 |
|
| ACサーボモーターPanasonic(株) MSMF5AZL1A2M □38 |
- | - | - | - | - | - | - | - | - | 50mm/sec | 6.0kgf 【58.8N】 |
7.5kgf 【73.5N】 |
50mm/sec | 3.0kgf 【29.4N】 |
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| 仕様 | 5μm以内 | ±0.30μm以内 | 1μm以内 | 25sec以内 | 15sec以内 | - | - | - | - | - | |||||
