スペック
見積リストに追加する| 基本項目 | 型式 | ES3001A-R |
|---|---|---|
| CAD |
 
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| 定価（1台） | 506,000円 | |
| RoHS対応 | RoHS10物質対応 | |
| 基本情報 | 品名 | 自動ステージ調芯ユニット (3軸):ES3001 |
| オーバーハングオプション | 無し | |
| チルトステージタイプ | インナーチルト | |
| L/Rタイプ | 右タイプ | |
| 自重[kg] | 2.7 | |
| 光軸高さ[mm] | 145 | |
| 耐荷重[kgf] | 0.3 | |
| 付属品 | ステージケーブル (D214-2-2E 3本) 取付ねじ (六角穴付きボルトM6-12 4本) |
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| 移動量 | X[mm] | 20 |
| Y[mm] | 20 | |
| Z[mm] | 20 | |
| θx[±°] | 3 | |
| θy[±°] | 3 | |
| 分解能 | X[μm/パルス](Full) | 1 |
| X[μm/パルス](MS1/20) | 0.05 | |
| Y[μm/パルス](Full) | 1 | |
| Y[μm/パルス](MS1/20) | 0.05 | |
| Z[μm/パルス](Full) | 1 | |
| Z[μm/パルス](MS1/20) | 0.05 | |
| θx[≒″/目盛] | 33.8 | |
| θy[≒″/目盛] | 33.4 | |
| MAXスピード | X[mm/sec] | 20 |
| Y[mm/sec] | 20 | |
| Z[mm/sec] | 20 | |
| 繰返し位置決め精度 | X[±μm以内] | 0.2 |
| Y[±μm以内] | 0.2 | |
| Z[±μm以内] | 0.2 | |
| 構成 | X | KXC06020-G |
| Y | KXC06020-G | |
| Z | KXC06020-G | |
| θx | B50-60RN(θxy一体型) | |
| θy | B50-60RN(θxy一体型) | |
| 備考 | ※ | 繰り返し位置決め精度は単軸状態で検査を行っています |
