スペック ※生産終了品
| 基本項目 | 型式 | ES6221-L |
|---|---|---|
| CAD |
 
|
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| 定価（1台） | 1,243,000円 | |
| RoHS対応 | RoHS10物質対応 | |
| 基本情報 | 品名 | 自動ステージ調芯ユニット (6軸):E6221 |
| ストロークタイプ | X:70mm/Y:20mm/Z:100mm/θxyz:±8° | |
| L/Rタイプ | 左タイプ | |
| 自重[kg] | 7.9 | |
| 光軸高さ[mm] | 214 | |
| 付属品 | ステージケーブル (D214-2-2E 4本/D214-1-2E 2本) 取付ねじ (六角穴付きボルトM6-12 4本) |
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| 移動量 | 移動量:X[mm] | 70 |
| 移動量:Y[mm] | 20 | |
| 移動量:Z[mm] | 100 | |
| 移動量:θx[±°] | 8 | |
| 移動量:θy[±°] | 8 | |
| 移動量:θz[±°] | 8 | |
| 分解能 | 分解能 :X[μm/パルス](Full) |
1 |
| 分解能 :X[μm/パルス](MS1/20) |
0.05 | |
| 分解能 :Y[μm/パルス](Full) |
1 | |
| 分解能 :Y[μm/パルス](MS1/20) |
0.05 | |
| 分解能 :Z[μm/パルス](Full) |
1 | |
| 分解能 :Z[μm/パルス](MS1/20) |
0.05 | |
| 分解能 :θx[°/パルス](Full) |
0.003 | |
| 分解能 :θy[°/パルス](Full) |
0.0032 | |
| 分解能 :θz[°/パルス](Full) |
0.0032 | |
| 構成 | X | KS102-70 |
| Y | KXC06020-G | |
| Z | KS102-100R | |
| θx | KGW04040-L | |
| θy | KGW06075-R | |
| θz | KGW06075-L |
