スペック ※生産終了品
| 基本項目 | 型式 | ES6701-L |
|---|---|---|
| CAD |
 |
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| 定価（1台） | 1,193,000円 | |
| RoHS対応 | RoHS10物質対応 | |
| 基本情報 | 品名 | 自動ステージ調芯ユニット (6軸) 上方フリータイプ:E6701 |
| L/Rタイプ | 左タイプ | |
| 自重[kg] | 6.7 | |
| 光軸高さ[mm] | 206 | |
| 付属品 | ステージケーブル (D214-2-2E 6本) 取付ねじ (六角穴付きボルトM6-12 4本) |
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| 移動量 | 移動量:X[mm] | 50 |
| 移動量:Y[mm] | 10 | |
| 移動量:Z[mm] | 50 | |
| 移動量:θx[±°] | 6 | |
| 移動量:θy[±°] | 8 | |
| 移動量:θz[±°] | 8 | |
| 分解能 | 分解能 :X[μm/パルス](Full) |
1 |
| 分解能 :X[μm/パルス](MS1/20) |
0.05 | |
| 分解能 :Y[μm/パルス](Full) |
0.5 | |
| 分解能 :Y[μm/パルス](MS1/10) |
0.05 | |
| 分解能 :Z[μm/パルス](Full) |
1 | |
| 分解能 :Z[μm/パルス](MS1/20) |
0.05 | |
| 分解能 :θx[°/パルス](Full) |
0.002466 | |
| 分解能 :θy[°/パルス](Full) |
0.003 | |
| 分解能 :θz[°/パルス](Full) |
0.0032 | |
| 構成 | X | EKT3-50L(※) |
| Y | EKS1-10L(※) | |
| Z | EKT3-50L(※) | |
| θx | KGW06100-L | |
| θy | KGW04040-R | |
| θz | KGW06075-L | |
| 備考 | ※ | 調芯ユニット専用ステージです。 |
