スペック
見積リストに追加する| 基本項目 | 型式 | ES6702-L |
|---|---|---|
| CAD |
 
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| 定価（1台） | 1,193,000円 | |
| RoHS対応 | RoHS10物質対応 | |
| 基本情報 | 品名 | 自動ステージ調芯ユニット (6軸) 上方フリータイプ:E6702 |
| L/Rタイプ | 左タイプ | |
| センサ電源電圧 | 5V-24V仕様 | |
| 自重[kg] | 6.7 | |
| 光軸高さ[mm] | 206 | |
| 耐荷重[kgf] | 0.3 | |
| 付属品 | ステージケーブル (D214-2-2E 6本) 取付ねじ (六角穴付きボルトM6-12 4本) |
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| 移動量 | X[mm] | 50 |
| Y[mm] | 10 | |
| Z[mm] | 50 | |
| θx[±°] | 6 | |
| θy[±°] | 8 | |
| θz[±°] | 8 | |
| 分解能 | X[μm/パルス] (Full) | 1 |
| X[μm/パルス] (MS 1/20) | 0.05 | |
| Y[μm/パルス] (Full) | 0.5 | |
| Y[μm/パルス] (MS 1/10) | 0.05 | |
| Z[μm/パルス] (Full) | 1 | |
| Z[μm/パルス] (MS 1/20) | 0.05 | |
| θx[°/パルス] (Full) | 0.002466 | |
| θx[°/パルス] (Half) | 0.001233 | |
| θy[°/パルス] (Full) | 0.003 | |
| θy[°/パルス] (Half) | 0.0015 | |
| θz[°/パルス] (Full) | 0.0032 | |
| θz[°/パルス] (Half) | 0.0016 | |
| MAXスピード | X[mm/sec] | 10 |
| Y[mm/sec] | 5 | |
| Z[mm/sec] | 10 | |
| θx[°/sec] | 12.5 | |
| θy[°/sec] | 15 | |
| θz[°/sec] | 16 | |
| 繰返し位置決め精度 | X[±μm以内] | 0.5 |
| Y[±μm以内] | 0.5 | |
| Z[±μm以内] | 0.5 | |
| θx[±°以内] | 0.003 | |
| θy[±°以内] | 0.005 | |
| θz[±°以内] | 0.003 | |
| 構成 | X | EKT4-50L2(※) |
| Y | EKS3-10L(※) | |
| Z | EKT4-50L2(※) | |
| θx | KGW06100T-LC | |
| θy | KGW04040T-RC | |
| θz | KGW06075T-LC | |
| 備考 | ※ | 調芯専用ステージです 繰返し位置決め精度は単軸状態で検査を行っています |
