用語／定義（精度・単位など）

ピッチング、ヨーイング、ローリングの方向

ピッチング・ヨーイング・ローリング（ピッチ・ヨー・ロール）とはどういう意味ですか？

◆ピッチング
進行方向（前後）に対して垂直（左右）に交わる軸の軸回り運動
　→上下の傾き

◆ヨーイング
進行方向（前後）に対して垂直（上下）に交わる軸の軸回り運動
　→左右の傾き

◆ローリング
進行方向（前後）軸の軸回り運動

真直度、ピッチング、ヨーイングの違いを知りたい

真直度、ピッチング、ヨーイングの違いを教えてください

◆真直度[単位：μm]
・理想の移動軸に対して水平及び垂直方向の最大のズレ量（距離）

 

 

◆ピッチング[単位：″]
・縦の首振り方向の最大変位角度

 

 

◆ヨーイング[単位：″]
・横の首振り方向の最大変位角度

水平面Ｚ軸／運動の真直度と垂直度の違い

【水平面Z軸】真直度と運動の垂直度の違いを教えてください

◆運動の真直度[単位：μm]
・理想の移動軸に対して水平及び垂直方向の最大のズレ量（距離）


◆運動の垂直度[単位：μm]
・基準平面上に水平面Z軸ステージと直角基準を固定する。
・直角基準とステージ上面に設定した測定機器との間の変位を測定する。
・その最大差を運動の垂直度とする。

回転ステージの偏芯量と面振れ量の違い

【回転ステージ】偏芯量と面振れ量の違いを教えてください

◆偏芯量[単位：μm]
・回転中心軸の水平方向変位量

◆面振れ量[単位：μm]
・テーブル上面のほぼ外周付近を測定点とし、1回転させたときの基準平面に対する変位の最大差

平行度と運動の平行度の違い

平行度と運動の平行度の違いを教えてください

◆平行度[単位：μm]
・基準平面上にステージを固定する。
・ステージの上面テーブルと基準平面がどの程度平行になっていかを示す数値。

◆運動の平行度[単位：μm]
・基準平面上にステージを固定する。
・ステージの上面テーブルに基準平面との高さを測定する機器を置く。
・ステージを動かして計測した数値の最大差。

許容モーメント荷重とモーメント剛性の違い

許容モーメント荷重とモーメント剛性の違いを教えてください

◆許容モーメント荷重[単位：N・m](手動ステージ)
ステージ上面から離れたところにどの程度まで荷重を加えられるかを規定した数値となります。
※許容内となる基準
　1．操作感が著しく損なわれない
　2．負荷を外した後の精度がカタログ保証値内に収まることができる

◆モーメント剛性[単位： ″/N・cm]
ステージ上面に対し、ピッチ・ヨー・ロールそれぞれの方向にモーメント荷重を加える。
その際の1N･cmあたりの変位角のこと。
※ステージ移動面（上面）の中心からの距離を基準とする。
※カタログ記載のモーメント剛性値は代表実測値の表記となっている。

勝手違い（Rタイプ）とは

勝手違い（Rタイプ）とはどのような向きになるのでしょうか。

手動ステージを鏡に映した向きとなります。
サイド押しタイプは、操作位置（マイクロ／送りねじ）とクランプの位置が入れ替わります。
センター押しタイプは、クランプのみがステージ面の反対側となります。