ステージの取扱い
ステージの取扱い
ステージの使用環境について
使用環境：10～50℃、20～70％RH（非結露）推奨使用環境：22±5℃、20～70％RH（非結露）
ステージの種類、設置条件･動作条件･性能など、多岐にわたる条件により、ご使用頂ける温度が変わります。
次のような場所での使用は避けてください。
- ・ほこりや粉塵（特に金属粉）の多いところ
- ・火気に近いところ
- ・水や油がかかるところ
- ・塩分、有機溶剤が多いところ
- ・直射日光、輻射熱があたるところ
- ・腐食性ガス、可燃性ガスが発生するところ
- ・振動や衝撃が伝わるところ
移動量について
付属ねじについて
弊社で標準としている取付け用六角穴付キャップボルト（一部十字ナべ小ねじ）が付属しています。ねじの締め付けトルクについて
締め付けトルク基準表使用するねじはSUSのキャップボルトを対象に設定しています。| 被締め付け材の構成 |  |
||
| 呼び | kgf・cm | cN・m | |
|---|---|---|---|
| M1.6 | 1.5 | 15 | |
| 2 | 3.1 | 30 | |
| 2.5（2.6） | 6.1 | 60 | |
| 3 | 10.2 | 100 | |
| 4 | 23.5 | 230 | |
| 5 | 46.9 | 460 | |
| 6 | 81.6 | 800 | |
センサ基板の取り扱いについて
弊社センサ基板は、一部型式を除き、DC5~24Vにて動作しますが、使用範囲を超える電圧、電流が印加された場合や誤配線があった場合は、構成部品が焼損する恐れがございます。下記に注意してご使用ください。- ・カタログ記載の電圧、電流を超えて使用しないでください。
- ・電圧の極性間違い、信号線への電源接続など、誤配線には十分ご注意ください。
ステージの取付け
自動ステージの取付けについて
型式によりステージ面を移動させて取付けるものがあります。 モーターのつまみを回して移動させます。
手動ステージの取付けについて
型式によりステージ面を移動させて取付けるものがあります。
ステージ上面･下面に取付ける対象物について
平面度の悪い対象物を取付けたり、平面度の悪い物に取付けますと、ステージ面を変形させ、精度に影響を及ぼす場合がございます。ご注意ください。【平面度の目安：10μｍ以内】
ステージの取付け面、取付け方向について
ステージの型式、取付け向きにより機能を満足しない場合があります。天井取付け、側面取付けの際は下記の例をご参照ください。
グリース交換について
位置決めステージ使用しているグリースはクリーンルーム･真空向けにグリース交換が可能です。自動ステージ
自動ステージのグリース交換は、オプションコードで発注が可能です。型式の末尾に‐J、K、Lを付けて頂いた場合、グリースを変更した製品をお求めになれます。
発注時の型式と交換費用
| 末尾コード | -J | -K | -L |
|---|---|---|---|
| 名称 | クリーン環境用グリース | クリーン環境用グリース | 真空向けグリ－ス |
| 型式 | AFF | LG2 | フォンブリンYVAC2 |
| メーカー | THK | NSK | ソルベイスペシャルティポリマーズジャパン㈱ |
| 使用可能温度範囲 | －40～120℃ | －20～70℃ | －20～250℃ |
| オプション差額 | ＋￥28,000 | ＋￥30,000 | ＋￥38,000 |
※ CAVE-X（リニアボールガイド）シリーズ、KXS（スライドガイド）シリーズは、ベアリング部を除き、標準でクリーン環境用グリース（AFF）を使用しています。
対象外製品
自動ゴニオ･自動回転ステージ･水平面Z軸ステージはグリース交換対応不可となります。
交換箇所
・ガイド・ベアリング部（シール付ベアリング及びサポートユニットを除く）・ボールねじ
※ボールねじ・ガイド･ベアリング（シールなしベアリングのみ）は洗浄後、塗布工程を行います。
※モータのグリース交換はできません。
精度保証
クリーン環境用グリース
グリースの粘性抵抗が大きくなり、カタログ記載の標準グリースタイプと同等のスペックを満足することが困難となります。特に微小ステップ送りについての追従性が悪くなる傾向となります。
グリース交換後の製品において全品精度測定を行い、精度保証については下記となります。
《直動系》カタログ記載の標準グリースタイプの1.5倍の停止性能値
※ CAVE-X(リニアボールガイド)シリーズ・KXS(スライドガイド)シリーズはクリーン環境用グリース（AFF）が標準となるため、
各製品紹介ページに掲載されているスペックへの精度を保証いたします。
グリース交換を行った自動ステージの精度（1.5倍の停止性能値）
| リニアボールガイドPG615 | カタログ品 | グリース交換品 |
|---|---|---|
| 位置決め精度 | 6μm以内 | 9μm以内 |
| 繰返位置決め精度 | ±0.5μm以内 | ±0.75μm以内 |
| ロストモーション | 1μm以内 | 1.5μm以内 |
| バックラッシ | 0.5μm以内 | 0.75μm以内 |
| 平行度 | 15μm以内 | 22.5μm以内 |
| 運動の平行度 | 5μm以内 | 7.5μm以内 |
真空向けグリース
グリース粘性抵抗等により出荷精度のばらつきが発生します。カタログ表記のスペックは保証外となります。
出荷日について
交換するグリースまたは製品により標準グリース品と出荷日が異なります。手動ステージ
手動ステージのグリース交換は、SSステージのみ、オプションコードで発注が可能です。 型式の末尾に‐J、K、Lを付けて頂いた場合、グリースを変更した製品をお求めになれます。発注時の型式と交換費用
| 末尾コード | -J | -L |
|---|---|---|
| 名称 | クリーン環境用グリース | 真空向けグリ－ス |
| 型式 | AFF | フォンブリンYVAC2 |
| メーカー | THK | ソルベイスペシャルティポリマーズジャパン㈱ |
| 使用可能温度範囲 | －40～120℃ | －20～250℃ |
| オプション差額 | ＋￥2,000 | ＋￥12,000 |
対象外製品
SSステージ以外は対応不可となります。
交換箇所
・案内面（ガイド部）・標準マイクロメータ及び送りねじ
※SSステージは、マイクロメータ部以外、クリーン環境用グリース（AFF）が塗布されております。
よって「‐J」への使用変更は、マイクロメータ部のみの交換となります。
※マイクロメータヘッドは洗浄後、塗布工程を行います。
※粗微動マイクロメータヘッド、デジマチックマイクロメータは対応不可。
精度保証
クリーン環境用グリース
グリース交換後の出荷精度は、カタログ記載の標準グリースタイプと同様です。グリース粘性抵抗等により感触等が変化する場合があります。
